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Nシリーズターボポンプは従来のターボポンプに基づいて革新されます。 主な改善点は、コアコンポーネントのニッケルメッキとパージ装置の設置です。これにより、Nシリーズポンプは腐食環境での使用に最適です。
株式会社キーキーテクノロジー シリーズ分子ポンプ、シリーズ分子ポンプステーション、シリーズイオンポンプ、シリーズゲートバルブ、サポートコントローラを含む真空生成製品の製造と研究における長年の経験があります。
1970年代に最初の垂直ターボ分子ポンプを開発して以来、KYKYは常に方向づけています
需要主導の市場に、私たちの顧客の要求を満たすことを目指し、そして革新的に発展するという企業精神の中で新製品を継続的に発売します。
利点 ：
1.安定した性能および長い耐用年数
2.簡単なメンテナンスと便利な操作
3.利用可能な過酷な動作環境（高温、粉塵、強い腐食など）
アプリケーション：
Nシリーズターボポンプは、主に工業用漏れ検知、PVD、CVD、イオン注入、真空電子部品製造、Low-Eガラス、ITOガラス、光学コーティング、太陽電池、電子ビーム溶接、真空炉などの業界で使用されます。
仕様：
| フランジ（イン） | DN400 / ISO-K |
| フランジ（アウト）KF | DN100 |
| ポンプ速度（L / s） | N2：3500 |
| 彼：2650 | |
| H2：1280 | |
| Ar：3200 | |
| 圧縮率 | N2：10 8 |
| 彼：10 3 | |
| H2：10 2 | |
| Ar：10 8 | |
| 到達圧力（Pa） | |
| ISO-K：6×10 -6 | |
| 最大 連続前真空圧（Pa） | 100 |
| 最大 前真空圧 | N2：350 |
| ガス処理量（sccm） | N2：5500 |
| 彼：4000 | |
| H2：3200 | |
| Ar：2100 | |
| 回転速度（rpm） | 13500 |
| 立ち上がり時間（分） | ≤18 |
| 冷却タイプ、標準 | 水 |
| 冷却水消費量（リットル/分） | 1以上 |
| 冷却水温（℃） | ≦25 |
| 電源接続：電圧（V AC） | 220±22 |
| 最大消費電力（W） | ≦1100 |
| コントローラーモデル | TCDP-II / FD-III 2.5メットケーブル付き |