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磁気浮上式分子ポンプは、軸力が磁力によって支えられるポンプであり、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野での応用要件を満たしている。
テクノロジ：
利点：
このポンプは、動作中の摩擦がゼロ、低消費電力などの利点を持っています。ポンプを潤滑することなく、非常にクリーンな高真空および超高真空を簡単に取得できます。精密なセラミックボールと発電機能を備えたベアリングの使用 それは摩擦、汚染および維持管理の自由そして低い振動との利点があり、あらゆる方向で取付けることができる。
アプリケーション：
エッチング、CVD、PVD、イオン注入に存在する腐食性ガスや、半導体製造、クリップ製造、工業用メッキ、科学機器の分野で常温で凝集しやすいガスの抽出。
仕様：
| フランジ（イン） | DN250 CF / ISO-K、ISO-F |
| フランジ（アウト）KF | DN40 |
| ポンプ速度（L / s） | N 2 ：2300 |
| Ar：2250 | |
| 彼：1900 | |
| H 2 ：850 | |
| 圧縮率 | N 2：10 8 |
| Ar：10 8 | |
| 彼：10 4 | |
| H 2：10 3 | |
| 到達圧力（Pa） | CF：1×10 -6 |
| ISO-K / F：6×10 -6 | |
| 最大 連続前真空圧（Pa） | 60 |
| 最大 前真空圧 | N 2 ：250 |
| ガス処理量（sccm） | N 2 ：3600 |
| Ar：1400 | |
| 彼：2800 | |
| H 2 ：2100 | |
| 回転速度（rpm） | 27000 |
| 立ち上がり時間（分） | ≤11 |
| 冷却タイプ、標準 | 水 |
| 冷却水消費量（リットル/分） | 1 |
| 冷却水温（℃） | 20 |
| 電源接続：電圧（V AC） | 220 |
| コントローラーモデル | CXF-2300 |
| 重量（キログラム） | 59（ISO-K / F）62（CF） |