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磁気浮上式分子ポンプは、軸力が磁力によって支えられるポンプであり、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野での応用要件を満たしている。
テクノロジ：
利点：
このポンプは、動作中の摩擦がゼロ、低消費電力などの利点を持っています。ポンプを潤滑することなく、非常にクリーンな高真空および超高真空を簡単に取得できます。精密なセラミックボールと発電機能を備えたベアリングの使用 それは摩擦、汚染および維持管理の自由そして低い振動との利点があり、あらゆる方向で取付けることができる。
アプリケーション：
エッチング、CVD、PVD、イオン注入に存在する腐食性ガスや、半導体製造、クリップ製造、工業用メッキ、科学機器などの分野で常温で凝集しやすいガスの抽出。
仕様：
| モデル | CXF-250/2301 |
| ポンプ速度（l / s、空気） | 2200 |
| 圧縮率 | > 1×10 7 |
| 到達真空度（Pa） | ≦2×10 -7 |
| 入口フランジ | DN250 ISO K（LF） |
| DN250 ISO F | |
| DN250 ISO CF | |
| アウトレットフランジ | KF 40 |
| 回転速度（rpm） | 30000 |
| 立ち上がり時間（分） | 8 |
| VIB（mm） | <0.05 |
| バッキングポンプ（L / s） | 15年 |
| 取り付けまたは回転 | どれか |
| 冷却方法 | 水 |
| 重量（kg）（コントローラーあり） | 58 |