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電磁軸受は「磁気浮上軸受」とも呼ばれ、磁気軸受、センサ、および制御システムで構成されています。 この設計は動的応答および時機を得た調節、高速シャフト処理および信頼できる操作を有する。
磁気浮上分子ポンプは、軸力が磁力によって支えられるポンプです。
シリーズ磁気浮上式分子ポンプは、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野の用途要件を満たすためにKYKYによって開発された真空発生装置です。
テクノロジ：
利点：
操作中の1.Zero摩擦、および低消費電力
ポンプのための注油なしで本当にきれいな高真空および超高真空を取得する2.Easy
3.腐食性ガスの長期抽出が可能
精密セラミックボールによるベアリングの保護による4.High安全性と長寿命
突然の電源オフの場合の5.power発電機能
仕様：
| モデル | CXF-200/1401 |
| ポンプ速度（l / s、空気） | 1400 |
| 圧縮率 | > 1×10 7 |
| 到達真空度（Pa） | ≦2×10 -6 |
| 入口フランジ | DN200 ISO K（LF） |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| アウトレットフランジ | KF 40 |
| 回転速度（rpm） | 33000 |
| 立ち上がり時間（分） | 6 |
| VIB（mm） | <0.05 |
| バッキングポンプ（L / s） | 15年 |
| 取り付けまたは回転 | どれか |
| 冷却方法 | 水 |
| 重量（kg）（コントローラーあり） | 51 |
アプリケーション：
シリーズ磁気浮上分子ポンプは、主に半導体製造、クリップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野、特にエッチング、CVD、PVDおよびイオン注入に存在する腐食性ガスの抽出および常温で容易に凝固するガスの分野に適用される。