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| 構成要素 | SF6 コンプレッサー | N2コンプレッサー | 混合ガス充電圧縮機 |
|---|---|---|---|
| タイプ | 空気冷却ピストン | 空気冷却ピストン | 空気冷却ピストン |
| 理論的流量 | 14m3/h | 14m3/h | 30m3/h |
| マックス 放出圧 | 2 MPa | 2 MPa | 5 MPa |
| 許容される作業圧 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
| 吸気圧範囲 | 53 kPa ~ 0.5 MPa | 53 kPa ~ 0.5 MPa | 53 kPa ~ 0.5 MPa |
| マックス 放出温度 | 130°C | 130°C | 130°C |
| 潤滑システム | 油なし | 油なし | 油なし |
| パワーランキング | 2.2 kW (3Φ 380V 50Hz) | 2.2 kW (3Φ 380V 50Hz) | 11 kW (3Φ 380V 50Hz) |
| バキュームポンプ | 54 m3/hのポンプ速度 | - | - |
| 究極の真空 | ≤10 Pa (PRO-200オイルで潤滑) | - | - |
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| モデルコード | KSLF-28/30WY20/NZ |
| 名目混合容量 | 10 Nm3/h |
| 適用可能なガス混合物 | SF6/N2,SF6/CF4,C4F7N/CO2 など |
| 制御システム | 触覚画面インターフェース付き PLC ベース |
| フィルタリング精度 | 0.1μm (粒子) /3ppm (湿度) |
| 尺寸 (L×W×H) | 1800×1000×1500mm |
| 電源 | 3Φ 380V 50Hz,合計 15.4kW |
