モデル		CF160/LF160
入り口フレンズ	-	LF160	CF160
出口フレンズ	-	KF40
ポンプ速度	L/s	N2 について700
圧縮比 N2/H2	-	N2:10*3
究極の圧力	パパ	6×10^-7	6×10^-8
回転速度	rpm	36000
実行時間	ミニ	≤5
振動	μm	≤0.15
前真空ポンプの速度	L/s	4から8
冷却水温		≤25
冷却水流量	L/分	≥1
暖房の電力	W	≤100
熱器の電圧	V	220
設置方向	-	どんな角度でも
体重	体重	CF20/LF19

パンプの描画

適用する

平面ディスプレイと太陽電池製造

- OLED/LCDパネルの真空蒸発とスプッターに使用される
- 薄膜太陽電池の製造に使用される
- フィルムの均一性と純度のために高真空を維持
科学研究と研究室
- 高エネルギー物理学 (粒子加速器) に不可欠
- 表面科学 (STM,XPS) で使用
- 核融合実験にとって重要な
- 超高真空 (<10^-10 mbar) を達成する
航空宇宙と宇宙シミュレーション
- 宇宙船の熱真空試験に使用される
- ロケットエンジンの試験室で使用される
- 空間のような真空状態をシミュレートする (<10^-6 Pa)
オプティクスとコーティング産業
- 光学部品の真空コーティングを有効にする
- 大型望遠鏡の鏡のコーティングに使用される
- 油蒸気汚染を防ぐ
分析器具
- 質量スペクトロメーター (GC-MS,ICP-MS) で使用される
- 電子顕微鏡 (SEM,TEM) に不可欠
- 敏感な分析のためのクリーン真空を提供します
医療・バイオテクノロジー
- 陽子療法システムで使用される
- 医療用加速器に用いられる
- 高度な信頼性と安定性が必要です
工業用コーティングとパッケージング
- ツールに硬いコーティングを可能にします
- 食品/医薬品の包装に使用される
- オイルポンプより環境に優しい
新しいエネルギーと材料科学
- 電池材料の加工に使用される
- 超伝導材料の調製に使用される
- 先進的な材料研究に不可欠
他の専門分野
- 原子力産業の応用
- 真空金属工法
- 各種ハイテク製造業

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