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グリース潤滑ターボ分子真空ポンプ DFFZ250/2000
特徴
1. グリース潤滑
2. 空冷/水冷
3. 任意の角度での設置
技術パラメータ
| モデル | FFZ250/2000 | ||
| 入口フランジ | - | LF250 | CF250 |
| 出口フランジ | - | KF40 | |
| 排気速度 | L/s | 2000 | |
| 圧縮比 N2/H2 | - | 108 / 104 | |
| 到達圧力 | Pa | 6×10-7 | 6×10-6 |
| 回転速度 | rpm | 24000 | |
| 立上がり時間 | 分 | ≤6 | |
| 振動 | μm | ≤0.1 | |
| 予備真空ポンプ速度 | L/s | 2 | |
| 冷却水温度 | ≤20 | ||
| 冷却水流量 | L/s | 1 | |
| 最大電力 | kW | 750 | |
| ヒーター電圧 | V | AC220 | |
| 設置方向 | - | 任意の角度 | |
| 重量 | kg | 32/35 | |
排気曲線
ポンプ図面
用途
様々な業界における分子ポンプの用途
分子ポンプは、クリーンでオイルフリーの高真空または超高真空環境を必要とする業界で広く使用されている高真空ポンプです。主な用途分野には以下が含まれます:
半導体および集積回路製造
リソグラフィ、エッチング、イオン注入、薄膜堆積（CVD、PVD）などのチップ製造プロセスで使用
ウェーハ汚染を防ぐためのオイルフリー運転を保証
主要な装置：電子ビームリソグラフィシステム、プラズマエッチャー、MBEシステム