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PVDF および PFA Ultra-Pure 加熱ソリューション用の Ultra-Pure インライン流体ヒーター
増加した E の特許技術ff鮮度と信頼性特定のアプリケーション向けにカスタマイズ
プレサイスヒーターCorporation の一連の Ultra-Pure インライン流体ヒーターは、半導体、ソーラー、MEMS 製造、および最も厳しい純度基準を必要とするその他の業界で見られるような工業用流体加熱アプリケーションで使用するために設計されています。最高品質のフルオロポリマー材料で構成されたこれらのヒーターは、脱イオン水、酸、およびその他の多様なプロセス化学で使用するためにカスタム設計および構築されています。
利点
超純粋なデザイン
• 全フッ素ポリマー接液面が利用可能
• 最高温度 180°C の脱イオン水および腐食性の化学物質に対する効果的なソリューション
早い反応
• 低ワット密度設計。≤ 4 ワット/in.2
• 特許取得済みの発熱体によるプロセス要求に対する優れた温度応答
フィールドテスト済みの信頼性
• 低ワット密度は、ワット数を広げてヒーターの寿命を延ばします
• 10 年以上の MTBF が現場での信頼性を証明
PreciseHeater® 発熱体
コンパクトなデザイン
• 発熱体技術により、可能な限り最小の設計で電力を最大化
• フットプリントが小さいため、スペースが少なくなり、現在のシステムに簡単に統合できます
• ヒーターは通常、高さ 10 ~ 30 インチ、直径 2 ~ 6 インチです。
アプリケーション
半導体ウェットプロセス
滅菌・洗浄
ソーラー/太陽光発電ウェーハ洗浄
•標準的なアプローチ:
お客様のアプリケーションのニーズを理解し、
特定の要件に対応する加熱ソリューション
運用コストの削減
• 発熱体の上に押し出された PFA により、
窒素パージ;したがって、運用コストを削減
モデル |
LH1 |
LH7 |
接液材料 |
PVDF/PFA |
PVDF/PFA |
ハウジング材質 |
パイプ |
パイプ |
最高気温 |
95℃ |
95℃ |
プレッシャー |
95°C で 60 psi |
95°C で 60 psi |
力* |
1~15kW |
1~18kW |
正確さ |
±0.1℃ |
±0.1℃ |
電圧** |
200 ~ 480 VAC、単相および三相 |
200 ~ 600 VAC、単相および三相 |
フロー |
0.5-32 gpm (1.9-122 L/分) |
0.5-32 gpm (1.9-122 L/分) |
利点 |
可変高さ |
高流量、kW |