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光起電力のウエファーのクリーニングのための高い純度の流れパス PFA のインライン化学ヒーター
PreciseHeater のインライン ケミカル ヒーターは、当社の PFA 電気抵抗技術の薄膜により、市場に出回っている他の加熱技術とは異なります。高純度材料、迅速な立ち上げ時間、隙間のない設計、およびカスタマイズ可能な構成と組み合わせた当社の技術により、信頼性が高く効率的なヒーターが作成されます。
設計のシンプルさと柔軟性により、高温バージョンと低温バージョンの 2 つのモデルのみで、幅広い用途のニーズに対応できます。これらのヒーターは、さまざまな用途向けのプラグ アンド プレイ設計として最適であり、特に流体を使用時にすばやく加熱する必要がある場合に適しています。
マックスフロー
28 LPM / 7 GPM
最高温度
100 °C / 212 °F ICA 200 °C / 392 °F ICB
最大圧力
80PSI/.55MPa
材料
ハウジング オプション付き PFA エレメント (PTFE、PFA、および PVDF)
パワー
3 kW、4 kW、または 6 kW の組み合わせ単相または三相
電圧オプション
208、400
認定
CE、セミ S2、セミ S3
アプリケーション
半導体ウェットプロセス
滅菌・洗浄
ソーラー/太陽光発電ウェーハ洗浄
液面センサー
アース線オプション
過熱熱電対
プロセス熱電対
モデル |
PH1 |
PH7 |
接液材料 |
PVDF/PFA |
PVDF/PFA |
ハウジング材質 |
パイプ |
パイプ |
最高気温 |
95℃ |
95℃ |
プレッシャー |
95°C で 60 psi |
95°C で 60 psi |
力 |
1~6kW |
1~6kW |
正確さ |
±0.1℃ |
±0.1℃ |
電圧 |
200 ~ 600 VAC、単相および三相 |
200 ~ 600 VAC、単相および三相 |
フロー |
0.5-32 gpm (1.9-122 L/分) |
0.5-32 gpm (1.9-122 L/分) |
利点 |
可変高さ |
高流量、kW |