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インライン電気化学ヒーター/超高純度インライン PVDF ヒーター
Ultrapure インライン PVDF/PFA 液体ヒーター
PVDF/PFA 超高純度インライン流体ヒーターは、半導体、ソーラー、MEMS 製造、およびその他の産業で使用される脱イオン水、酸、および刺激の少ないプロセス ケミストリーの加熱に最適です。これらのヒーターは、再循環およびユースポイントの流体加熱アプリケーションに使用されます。フットプリントが小さいため、現在のシステムに簡単に統合できます。
1 ~ 15 kW およびさまざまな電圧で利用できます。
機能と利点
PVDF/PFA 接液面を備えた超高純度設計
低ワット密度で高速応答
窒素パージが不要で、運用コストを削減
高さ 10 ~ 30 インチ、直径 4 ~ 6 インチのコンパクトなデザイン
多くのオプション、安全機能、電圧、および電力出力を備えた柔軟な設計
アプリケーション
半導体ウェットプロセス
滅菌・洗浄
ソーラー/太陽光発電ウェーハ洗浄
液面センサー
アース線オプション
過熱熱電対
プロセス熱電対
オプション
サーマルカットオフ
熱電対
光ファイバー液面センサー
RTD センサー
圧力リリーフバルブ
超高純度プレサイスヒーター®発熱体
PFA インライン流体ヒーターは PreciseHeater を備えています®加熱コイル。この発熱体は、コンパクトなパッケージで優れた出力を提供します。ワット密度が低く、ワット数を広げることでヒーターの寿命を延ばします。
発熱体は PFA 材料でコーティングされているため、窒素パージが不要になり、運用コストが削減されます。
モデル |
LH1 |
LH7 |
接液材料 |
PVDF/PFA |
PVDF/PFA |
ハウジング材質 |
パイプ |
パイプ |
最高気温 |
95℃ |
95℃ |
プレッシャー |
95°C で 60 psi |
95°C で 60 psi |
力* |
1~15kW |
1~18kW |
正確さ |
±0.1℃ |
±0.1℃ |
電圧** |
200 ~ 480 VAC、単相および三相 |
200 ~ 600 VAC、単相および三相 |
フロー |
0.5-32 gpm (1.9-122 L/分) |
0.5-32 gpm (1.9-122 L/分) |
利点 |
可変高さ |
高流量、kW |