インラインケミカルヒーターは比類のない半導体プロセス流体加熱を行います
半導体プロセス流体を最高 210°C まで加熱できるようになりました!
より速い加熱:18kWまでのシングルヒーターチャンバーサイズ。
迅速なインストール:カスタマイズされた配管接続
所有コスト (COO) を削減するためのヒーターの長寿命:
特許取得済みのヒーター ガス パージ システムにより、化学物質の浸透を継続的に除去し、エレメントの寿命を延ばします。
長いヒーター寿命とクリーンな操作:特許取得済みのヒーター ガス パージ システムは、化学物質の浸透を継続的に除去し、非常に長いエレメント寿命を保証します。このシステムは、化学物質の潜在的なイオン汚染からも保護します。
頑丈な構造:厚い壁のチャンバーは、最も過酷な高温アプリケーションで長い耐用年数を提供します。
非常にクリーンなパフォーマンス:厚みのあるフッ素樹脂シースで浸透を最小限に抑えます。エレメントパージ監視により、イオン汚染の可能性が最小限に抑えられます。クリーンルームでの組み立てとテストにより、最高の製造基準が保証されます。
優れた化学的適合性:ほぼすべての化学薬品と互換性のあるすべてのフルオロポリマー接液部品。
優れた温度安定性:低ワット密度設計により、プロセス温度を正確に制御できます。
SC1：水酸化アンモニウム（NH4OH）、過酸化水素（H2O2）
SC2: 塩酸 (HCl) および過酸化水素 バッファー酸化エッチング (BOE) プロセス: フッ化水素酸 (HF) およびフッ化アンモニウム (NH4F)
窒化物エッチング/ストリップ: リン酸 (H3PO4) 次のようなさまざまな酸:
塩酸 (HCl)
フッ化水素 (HF)
酢酸 (C2H4O2)
硝酸（HNO3）
硫酸 (H2SO4)
硫酸と過酸化水素
硫酸とオゾン（O3）
フッ化水素酸とグリコール (C2H6O2)
水酸化カリウム (KOH)
水酸化ナトリウム (NaOH)
無電解ニッケル 無電解銅 無電解金 純水
一部の溶剤 (工場に相談してください)
利点と仕様
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210°C までの半導体プロセス流体の比類のない加熱。
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特許取得済みのヒーター ガス パージ システムにより、エレメントの寿命が長くなり、所有コストが削減されます。
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厚い壁のチャンバーは、最も過酷な高温アプリケーションで長い耐用年数を提供します。
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エレメントパージ監視により、イオン汚染の可能性が最小限に抑えられます。クリーンルームでの組み立てとテストにより、最高の製造基準が保証されます。
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すべてのフッ素樹脂接液部は、ほぼすべての化学薬品との優れた互換性を提供します。
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低ワット密度設計により、プロセス温度を正確かつ安定して制御できます。
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PVDF 高温取付ブラケット (高温モデル)
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オプション:
仕様:
サービス：
•すべてのフッ素樹脂が湿ったインラインケミカルヒーター
ほぼすべての湿式化学アプリケーションに対応する表面。
温度範囲: 210°Cまで。
最高使用圧力:
•25oC で 100 PSIG (7 バー)
•180oC で 43 PSIG (. Bar)
ヒーターのサイズ: 1,000 ワットから 18,000 ワットまで
利用可能なヒーター電圧:
•200 ～ 600 ボルト、単相または三相 (12kW および
大きい場合は三相が必要です)。
ワット密度: 1 平方インチあたり 10 ワット (1.5w/cm2)
利用可能な流体接続:
•1⁄4インチ (6mm) ～ 1インチ (25mm) フレア
•1⁄2” (12mm) から 1” (25mm) Super 300 Type Pillar®•
その他の接続も利用可能です。工場にお問い合わせください
第三者認証: CE、UL、Semi S2 および S3
エレメントパージ:
•少量のきれいな乾燥空気 (CDA) または N2ガスの流れ
金属接地エレメントと PTFE シースの間
半導体ウェットプロセス
滅菌・洗浄
ソーラー/太陽光発電ウェーハ洗浄
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