半導体太陽電池ウェーハ製造用超高純度インライン流体ヒーター
Ultrapure インライン PVDF/PFA 液体ヒーター
PreciseHeater® シリーズの Ultra-Pure インライン ヒーターは、半導体、太陽電池ウェーハ製造、および最も厳しい純度基準を必要とするその他のアプリケーションなどの産業用流体加熱アプリケーションで使用するために設計されています。最高品質のフルオロポリマー材料で構成されたこれらのヒーターは、脱イオン水、酸、およびその他の多様なプロセス化学で使用するためにカスタム設計および構築されています。
利点
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使用時に薬品を加熱
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高い効率と純度
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高い信頼性と低メンテナンス
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設置しやすいコンパクトサイズ
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窒素パージ不要
最大加熱効率
PreciseHeater® 加熱技術は、市場に出回っている超高純度フルオロポリマー ヒーターの中で最も効率的な熱応答を提供します。の核心にはプレサイスヒーター® ヒーターは、すべて PFA 接液面を備えた低質量の特殊加熱コイルです。この特許取得済みの発熱体により、プロセスの要求に迅速に対応できます。質量が小さいため、プレサイスヒーター® 発熱体、インライン ヒーターは、より均一な熱分布により、可能な限り短時間で設定温度に到達できます。
コンパクト
当社のコンパクトなヒーターは、統合を容易にするために設置面積が最小限に抑えられています。プレサイスヒーター® インライン ヒーターは通常、高さ 10 ～ 30 インチ、幅 6 ～ 12 インチで、電力要件、モデル、およびオプションによって異なります。
• 全フッ素ポリマー接液面
• マイクロプロセッサベースの温度コントローラ
シングルパス用の Power-To-Flow® Plus で利用可能
アプリケーション
• 1 から 12 キロワットの範囲のヒーター サイズ • 利用可能なほとんどの電圧
厳しいニーズを満たすように設計および構築
PreciseHeater インライン ヒーターは、最大の純度と互換性が要求される再循環および使用場所のアプリケーションに最適です。脱イオン水を利用する超高純度のアプリケーションや、酸、溶剤、エッチング液などの強力な化学物質が使用される可能性があるアプリケーションには、プロセスに適合するヒーターを提供しています。これらのヒーターはすべて、さまざまな接続オプションとインターフェース オプションを備えており、お客様のツールや要件に統合できます。
PVDF & PFA またはすべて PFA 接液面
加熱された DI 水を必要とするアプリケーションでは、PVDF と PFA を使用したヒーターが効果的な加熱ソリューションを提供します。140°C を超える積極的なプロセス化学と温度を利用するアプリケーションでは、すべての PFA 接液面が最高レベルの純度と耐久性を提供します。
半導体ウェットプロセス
滅菌・洗浄
ソーラー/太陽光発電ウェーハ洗浄
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液面センサー
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アース線オプション
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過熱熱電対
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プロセス熱電対
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オプション
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サーマルカットオフ
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熱電対
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光ファイバー液面センサー
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RTD センサー
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圧力リリーフバルブ
