フッ素樹脂 (PTFE) 半導体ウェット プロセス用インライン ケミカル ヒーター
半導体プロセス流体を最高 210°C まで加熱できるようになりました!
製品説明
比類のない半導体プロセス流体の加熱。18kWまでのシングルチャンバーサイズ
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特徴
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1. 最も要求の厳しい再循環またはシングルパス化学アプリケーション向けに頑丈に設計されています。
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2. 210℃までの最高温度加熱が可能です。
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3. ほぼすべての湿式化学用途に対応するすべてのフルオロポリマー接液面。厚い壁のチャンバーは長い
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最も過酷な高温アプリケーションでの耐用年数。
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4.所有コスト（COO）を削減するためのヒーターの長寿命：特許取得済みのヒーターガスパージシステムにより、継続的に除去されます
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5. 化学物質の浸透がなく、エレメントの長寿命を保証します。
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6.認証：CE、UL準拠、Semi S2
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仕様
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1. 1,000 ワットから最大 18,000 ワットの電力を供給
2.ボルト200 ～ 600 、単相または三相 (12kW 以上は三相が必要)
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3. ワット密度: 1 平方インチあたり 10 ワット (1.5w/cm2)
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4. 流体接続: ¼ インチ (6mm) から 1 インチ (25mm)。1/2 インチ (12mm) ～ 1 インチ (25mm) スーパー 300 タイプ ピラー®
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5. エレメントのパージ: 少量の清浄な乾燥空気 (CDA) または N2 ガスが、金属接地エレメントと PTFE シースの間に流れます。パージにより、イオン汚染の可能性が最小限に抑えられます。化学物質の浸透を防ぎ、より長い耐用年数を実現
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利用可能なオプション (工場に相談してください)
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横置き構成
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PVDF 高温取り付けブラケット
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カスタム構成、接続、およびケーブル長
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静電容量方式の液面検証
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PTFE インライン ケミカル ヒーターは、比類のない性能と信頼性を提供し、さまざまな化学薬品を 210°C まで加熱できます。このヒーターは、シングルパスまたは再循環アプリケーションに適しています。幅広い流量および温度要件でクラス最高の性能を発揮します。TIH は、入手可能なインライン ケミカル ヒーターの中で最も耐久性があり長持ちします。
アプリケーション
半導体ウェーハ洗浄
太陽光/太陽光発電ウェーハ洗浄
インライン化学加熱
安全機能
液面センサー
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<img data-original="/ueditor/themes/default/images/spacer.gif" alt="page3image53628096" width="0.479980" .479980'="" word_img="file:///page3image53628096" data-cke- saved-src="https://img.everychina.com/nimg/df/3e/567d6f16d040326c7a0ea29a4f41.jpg" src="https://img.everychina.com/nimg/df/3e/567d6f16d040326c7a0ea29a4f41.jpg" style="border: 1px solid rgb(221, 221, 221); vertical-align: 上; background-image: url("http://www.preciseheater.com/ueditor/themes/default/images/word.gif"); background-position: center center; background-repeat: no -繰り返しなし;">
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