湿式処理装置用 PTFE/PFA インライン ケミカル ヒーター / インライン ケミカル加熱用ソルベント ヒーター
半導体プロセス流体を最高 210°C まで加熱できるようになりました!
クラス最高のケミカルヒーター
PTFE インライン ケミカル ヒーターは、比類のない性能と信頼性を提供し、さまざまな化学薬品を 210°C まで加熱できます。このヒーターは、シングルパスまたは再循環アプリケーションに適しています。幅広い流量および温度要件でクラス最高の性能を発揮します。TIH は、入手可能なインライン ケミカル ヒーターの中で最も耐久性があり長持ちします。
特徴
パフォーマンスと安全性を考慮した設計
210°Cまでの化学薬品を加熱するために利用可能な高温構成
さまざまなツール構成への取り付けを容易にする複数の配管レイアウトが利用可能
接地された電気発熱体
安全な操作のための冗長温度センサー オプションの O リングを使用しない構造により、汚染を最小限に抑えます
丈夫な構造
特許取得済みのパージ設計により、化学物質の浸透を排除して耐用年数を延長
すべてのフッ素ポリマー接液面は、ほぼすべての湿式化学薬品に耐えます
高温/高圧用途向けの厚肉 PTFE チャンバーとヒーター シース
アプリケーション
半導体ウェーハ洗浄
太陽光/太陽光発電ウェーハ洗浄
インライン化学加熱
安全機能
液面センサー
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アース線オプション
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過熱熱電対
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プロセス熱電対
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TIH シリーズのアプリケーションには以下が含まれます。
より速い加熱:18kWまでのシングルヒーターチャンバーサイズ。
迅速なインストール:カスタマイズされた配管接続
所有コスト (COO) を削減するためのヒーターの長寿命:
特許取得済みのヒーター ガス パージ システムにより、化学物質の浸透を継続的に除去し、エレメントの寿命を延ばします。
長いヒーター寿命とクリーンな操作:特許取得済みのヒーター ガス パージ システムは、化学物質の浸透を継続的に除去し、非常に長いエレメント寿命を保証します。このシステムは、化学物質の潜在的なイオン汚染からも保護します。
頑丈な構造:厚い壁のチャンバーは、最も過酷な高温アプリケーションで長い耐用年数を提供します。
非常にクリーンなパフォーマンス:厚みのあるフッ素樹脂シースで浸透を最小限に抑えます。エレメントパージ監視により、イオン汚染の可能性が最小限に抑えられます。クリーンルームでの組み立てとテストにより、最高の製造基準が保証されます。
優れた化学的適合性:ほぼすべての化学薬品と互換性のあるすべてのフルオロポリマー接液部品。
優れた温度安定性:低ワット密度設計により、プロセス温度を正確に制御できます。
TIH シリーズのアプリケーションには以下が含まれます。
SC1：水酸化アンモニウム（NH4OH）、過酸化水素（H2O2）
SC2: 塩酸 (HCl) および過酸化水素 バッファー酸化エッチング (BOE) プロセス: フッ化水素酸 (HF) およびフッ化アンモニウム (NH4F)
窒化物エッチング/ストリップ: リン酸 (H3PO4) 次のようなさまざまな酸:
塩酸 (HCl)
フッ化水素 (HF)
酢酸 (C2H4O2)
硝酸（HNO3）
硫酸 (H2SO4)
硫酸と過酸化水素
硫酸とオゾン（O3）
フッ化水素酸とグリコール (C2H6O2)
水酸化カリウム (KOH)
水酸化ナトリウム (NaOH)
無電解ニッケル
無電解銅
無電解金
脱イオン水
一部の溶剤 (工場に相談してください)
