クリーンルームとは,空気中の塵粒子,微粒子,微生物,その他の汚染物質を極低に減らすために設計された特別に制御された作業場です.クリーンルームは半導体製造などの産業で広く使用されています医薬品,バイオテクノロジー,航空宇宙,光学,精密機器の生産生産と試験中に環境汚染が悪影響を及ぼさないことを確保する.
クリーンルーム の 主要 な 特徴
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空気の浄化
- フィルタリングシステム: クリーンルームでは,通常,99%を除去できるHEPA (高効率粒子空気) やULPA (超低透気空気) のような高効率の過濾装置が使用されます.最小の粒子の97%以上.
- 空気の流れ: 汚染物質の蓄積を防ぐため,空気は連続的に更新され,室内に均等に分配され,ラミナール (単方向) または混合型空気流パターンを使用します.
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温度と湿度制御
- 生産プロセスと製品の品質の安定性を確保するため,クリーンルームは通常20°C~22°Cの温度と30%~60%の相対湿度を保持します.
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ポジティブプレッシャーシステム
- クリーンルームは通常 ポジティブな圧力で動作するように設計されています つまり 人や物体が クリーンルームに入ると 空気が外へ流れます濾過されていない外部の空気が侵入して清潔な環境を損なうのを防ぐこと.
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材料と表面処理
- 内部構造や設備は,通常,不老鋼やエポキシで覆われた表面などの粒子の生成を最小限に抑える材料で作られています.この 滑らかな 表面 は 簡単に 清掃 さ れ て 消毒 さ れ ます汚染物質が留まる可能性が低下します.
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人事管理と運用手順
- クリーンルーム に 入る スタッフ は,特殊 な 防護 服,マスク,手袋,ブーツ を 着 なけれ ば なり ませ ん.そう する と,体 から 塵 や 微生物 が 環境 に 浸透 し て しまう こと を 防ぎ ます.
- 洗濯室やエアロックなどの移行エリアは,主に清潔なエリアに入る前に人々が厳格な消毒プロセスを受けることを保証するために通常設置されています.
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監視・制御システム
- クリーンルームには 粒子数や温度,湿度,圧力差を 追跡する 継続的な監視システムがあります
- 自動制御システムで環境条件をリアルタイムで調整し,部屋が常に既定の基準を満たすことを保証します.
クリーンルーム の 応用
- 半導体製造: チップおよび集積回路の製造中に微小粒子による欠陥を防止する.
- 医薬品及びバイオテクノロジー: 薬やバイオ医薬品の細菌や真菌による汚染を防ぐために,不妊生産と生物学的実験に使用されます.
- 航空宇宙: 衛星や宇宙船などの重要な機器の信頼性と性能を極低の汚染レベルを維持することによって保証します.
- オプティクスと精密器具の製造:レーザー製造,顕微鏡,高級光学部品などのアプリケーションでは クリーンルームは精度と安定性を保証します
テクニカルデータ
| 清潔度レベル |
最大許容される塵数/立方メートル |
微生物の最大許容数 |
| / |
≥0.5um |
≥5um |
空気中の微生物/立方メートル |
安定する微生物数/容器·30分 |
| 100 |
3500 |
0 |
5
|
1 |
| 10000 |
350000 |
2000 |
100 |
3 |
| 100000 |
3500000 |
20000 |
500 |
10 |
| 300000 |
10500000 |
60000 |
/ |
15 |
