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標準クリーンブース カスタム半導体 反静的 0.5um 粒子 塵のないISO FFU ヘパ
カスタムオプション
パラメータ
清潔度レベル | 最大許容される塵数/立方メートル | 微生物の最大許容数 | ||
/ | ≥0.5um | ≥5um | 空気中の微生物/立方メートル | 安定する微生物数/容器·30分 |
100 | 3500 | 0 | 5 | 1 |
10000 | 350000 | 2000 | 100 | 3 |
100000 | 3500000 | 20000 | 500 | 10 |
300000 | 10500000 | 60000 | / | 15 |