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小規模700Nm3/Hのポリシリコンの尾ガスはCDIの研修会からリサイクルする
アジアのケイ素の企業700Nmの³ /Hのポリシリコンの尾ガスはリサイクルする
いくつかの前部段階の蒸留および舞台裏の水素の抽出によって特許を取られる技術は採用され、技術はつながれ、HCLおよびchlorosilaneは全単位のための多結晶性ケイ素の排気から回復される。chlorosilaneは原料として採用し、プロダクトのガス純度は99.999%を超過できる。
ポリシリコンの尾ガスの水素の抽出のプロジェクトは高い水素分、低い不純物内容および高いプロダクト純度の条件があるCDIの研修会の尾ガスから来る。設計は処置のための温度の振動吸着を採用する。すなわち、供給のガスは適切なスペース速度と設計され、供給のガスの有害な不純物は（塩化水素およびchlorosilane） TSAの単位を通して取除かれ、次に高純度プロダクト水素を作り出すためにプロダクト ガスの固体中断された固体そして塵の不純物は精密フィルターを通して取除かれる。水素のほとんどはプロダクトとして管ネットワークに運ばれ、水素の小さい一部分は吸着剤の再生のためのTSAセクションに戻り、脱着させたガスはchlorosilaneをリサイクルするための前部の水素の圧縮機に戻る。効果的に製品品質を保障できるプロセス ルートは成長し、安定している。同時に、脱着させたガスは水素の回復率を改善する、このセクションに不用な排ガスがない処置のための吸収セクションに戻り。
技術索引
純度:>99.999%
容量:700Nm ³ /H
収穫:≥99%
参照