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シリコンオキシドなどの蒸気沉積材料の大量生産に適しています. 高精度温度差制御,高温と高真空; 高真空サブリマーション,反応脱脂,脱水,蒸気堆積材料 自動磨き 削り,炉の収集,その他の特殊なプロセス機能
装備の特徴:
大量の材料と高効率の生産です
l プロセス全体が完全に閉ざされ,自動操作,塵の飛ぶのを避ける,生産現場の環境は清潔です.
温度を1500度以内に制御し,迅速な加熱率.
私は真空で安定した動作を維持することができます.
装置のパラメータ:
オーブンのタイプは水平構造です.
設備は,サブライメーションシステム,収集システム,加熱システム,温度制御システム,真空システム,機械システム,冷却システムで構成されています.
サブライメーションシステムは,加熱ゾーンと収集ゾーンで構成されています.加熱ゾーンは,インダクションコイル,重型コロンドム,グラフィットハードフェルト,同静的グラフィットで構成されています.収集エリアは310Sステンレス鋼と隔熱層から構成されています.
l 温度制御システムは,PLCタッチスクリーン中央制御モード,自動制御,ネットワークポートを採用し,リモコン制御を実現できます.
l 暖房システムはインダクション加熱を採用し,電源は低騒音と約15%の省エネを伴うIGBT省エネ力を採用しています.
バキュームシステムは多段階バキュームポンプ,バキュームバルブ,圧力調節器,パイプラインで構成されています.
l 炉体は内部と外側で二層水冷却構造ででき,冷却水と接触する部分は304ステンレス鋼でできています.炉体から長期間にわたってガス漏れを効果的に防止する.
l 冷却システムは閉ざされた冷却システムで装備されている.内部循環は,電離化水を使用し,設備のパイプラインにスケーリングを引き起こさない.内循環水の損失は小さい. 熱散効果が良し,環境保護が統合され,足跡が小さいなど.
恒温ゾーンのサイズ: Φ500mm*600mm, Φ600mm*800mm, Φ700mm*1000mm, Φ800mm*1600mmなど. (顧客のニーズに応じてカスタマイズすることができます)
