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バキューム堆積炉は,炭素-炭素複合材料の準備に使用される.堆積炉は主にグラフィートの表面にピロリティカルカーボンコーティングを準備するために使用されます半導体装置と耐熱スクール材料
適用範囲:
グラフィット 半導体装置 耐熱スクーリング材料
1基本パラメータ:
1) 設計温度: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
2) 一般温度: 900~1200°C
3) 真空度: < 50Pa
4) 圧力の上昇速度:空炉の冷たい状態で6.67pA/h (または150Pa/24h)
5) 加熱モード:グラフィット抵抗加熱またはインダクション加熱,独立温度制御,良好な温度均一性
6) 大気中:真空 /CH4/C3H6/H2/N2/Ar
7) ガス制御モード:質量流量計制御,多チャンネルガス経路,均質な流量フィールド,沉積死角なし,良好な沉積効果
多段階で効率的な排気ガス処理システム 環境に優しい 清掃が簡単
8) オーブンの種類:四角形,丸形,垂直形または水平形 (非標準設計),完全に閉ざされた堆積室,密封効果良好,強力な防汚染能力
9) 炉冷却モード: 炉殻水冷却,外流速冷却システムを選択できます,短冷却時間,高生産効率
2. 真空堆積炉の構造:
構造形:横向き - 側放出,垂直 - 上下放出
オーブンのドアロックモード:手動/自動
オーブンの殻材料:内部のステンレス鋼/全ステンレス鋼
隔熱材料:炭素フェルト/グラフィットフェルト/炭素繊維で固められたフェルト
暖房,マフルの材料:グラフィット/CFC
赤外線機器:単色計/二色計
電源:KGPS/IGBT (中周波暖房のみに適している)
製造仕様:
| パラメータ/モデル番号 | JT-0305-C | JT-0505-C | JT-0608-C | JT-0612-C | JT-0812-C | JT-1120-C | JT-1218-C | JT-1520-C |
|
作業領域の大きさ φ×H(mm) |
300×500 | 500×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
|
最高温度 (°C) |
2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 |
| 温度均一性 (°C) | ±5 | ±5 | ±5/±75 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
| 制限真空度 (Pa) | 1〜100 | 1〜100 | 1〜100 | 1〜100 | 1〜100 | 1〜100 | 1〜100 | 1〜100 |
|
圧力の上昇速度 (Pa/h) |
0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方法 |
抵抗/インダクション |
抵抗/インダクション | 抵抗/インダクション | 抵抗/インダクション | 抵抗/インダクション | 抵抗/インダクション | 抵抗/インダクション | 抵抗/インダクション |
