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主に炭素-炭素複合材料の調製に使用され,堆積炉は主にグラフィートの表面にピロリティカルカーボンコーティングを調製するために使用されます.半導体装置と耐熱スクール材料.
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パラメータ/モデル番号
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GJC-0305-C
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GJC-0505-C
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GJC-0608-C
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GJC-0608-C
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GJC-0812-C
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GJC-1120-C
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GJC-1218-C
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GJC-1520-C
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作業領域の大きさ
φ×H(mm) |
300×500
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500×500
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600×800
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600×1200
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800×1200
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1100×2000
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1200×1800
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1500×2000
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最高温度
(°C) |
2300
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2300
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2300
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2300
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2300
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2300
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2300
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2300
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温度均一性 (°C)
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±5
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±5
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±5/±75
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±7.5/±10
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±7.5/±10
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±10/±15
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±10/±15
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±15/±20
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制限真空度 (Pa)
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1〜100
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1〜100
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1〜100
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1〜100
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1〜100
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1〜100
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1〜100
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1〜100
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制限真空度 (Pa)
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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加熱方法
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抵抗/インダクション
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抵抗/インダクション
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抵抗/インダクション
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抵抗/インダクション
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抵抗/インダクション
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抵抗/インダクション
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抵抗/インダクション
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抵抗/インダクション
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設計温度
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1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
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一般温度
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900~1200°C
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バキューム度
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< 50Pa
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圧力の上昇速度
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6.67pA /h (または150Pa / 24h) 空炉の冷たい状態で
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暖房モード
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グラフィット抵抗式加熱またはインダクション式加熱,独立温度制御,良好な温度均一性
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大気圏
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真空 /CH4/C3H6/H2/N2/Ar
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ガス制御モード
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質量流量計制御,多チャネルガス経路,均質な流量場,沉積死角なし,良好な沉積効果;多段階で効率的な排気ガス処理システム,環境に優しい,掃除が簡単
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オーブンの種類
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方形,丸い,垂直または水平構造 (非標準設計),完全に閉ざされた堆積室,良好な密封効果
強力な汚染防止能力 |
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オーブンの冷却モード
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炉殻水冷却,外流速冷却システムが選択できます,短い冷却時間,高い生産
効率性 |
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構造形
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横向き - 側放出,垂直 - 上下放出
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ロックモード
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マニュアル/自動
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殻材料
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内部ステンレス鋼/全ステンレス鋼
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断熱材料
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炭フェルト/グラフィットフェルト/炭素繊維で固められたフェルト
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赤外線機器
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単色計/二色計
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電源
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KGPS/IGBT (中周波暖房のみに適している)
製品パラメータ: |
