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モデル
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JT-CJL-04
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JT-CJL-14
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JT-CJL-31
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JT-CJL-74
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JT-CJL-127
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JT-CJL-211
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JT-CJL-326
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JT-CJL-588
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作業領域の大きさ
φ×H(mm)
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100×500
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150×800
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200×1000
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250×1500
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300×1800
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350×2200
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400×2600
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500×3000
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制限温度(°C)
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2200/2800
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温度均一性 (°C)
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±3/±5
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±3/±5
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±5/±75
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±7.5/±10
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±7.5/±10
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±10/±15
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±10/±15
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±15/±20
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制限真空度 (Pa)
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≤30
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≤30
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≤50
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≤50
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≤100
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≤100
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≤100
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≤100
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圧力上昇速度 (Pa/h)
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1
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1
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2
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2
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5
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5
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5
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5
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加熱方法
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グラフィット抵抗/インダクション加熱
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上記のパラメータは,プロセス要件に応じて調整できるが,承認の根拠として使用してはならない.具体的な技術計画と合意が優先される.
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