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Product 使用:
蒸気堆積炉は,炭素源として炭化水素ガス (C3H8,CH4など) で材料の表面またはマトリックスをCVD/CVI処理するために使用されます.材料の表面塗装に使用できるマトリックス改造 複合材料の調製など
製品の特徴:
電気加熱方法は,均質な加熱,シンプルな操作,簡単な制御と保守の特徴を持っています.
炉は高温耐性のある特殊材料で作られ,高温の加熱要素や重量部品の重さに耐えられる.密封性能が優れている基板に生じる堆積物が汚染されないように 効果的です.
インテリジェントな圧力制御,小さな圧力変動
完全に閉ざされた構造は熱安定性があり,密封効果も良好で,汚染防止能力も高い.
多チャンネルプロセスガス経路,均質な流量,堆積死角なし,良好な堆積効果
多段階の高効率の排気ガス処理システム 環境に優しい 効率的なタールと副産物の収集 清掃が簡単
冷却方法が採用され,殻は水で冷却され,外循環の高速冷却システムを選択することができ,冷却時間は短く,生産効率は高い.
製品仕様
パラメータ/モデル | JT-CJL-04 | JT-CJL-14 | JT-CJL-31 | JT-CJL-74 | JT-CJL-127 | JT-CJL-211 | JT-CJL-326 | JT-CJL-588 |
作業領域の大きさ φ×H(mm) | 100×500 | 150×800 | 200×1000 | 250×1500 | 300×1800 | 350×2200 | 400×2600 | 500×3000 |
最高温度 (°C) | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 | 2200/2800 |
温度均一性 (°C) | ±3/±5 | ±3/±5 | ±5/±75 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
バキューム度 (パ) | ≤30 | ≤30 | ≤50 | ≤50 | ≤100 | ≤100 | ≤100 | ≤100 |
圧力の上昇率 (Pa/h) | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 5 | 5 | 5 |
熱付けモード | グラフィット抵抗/インダクション加熱 | |||||||
| 上記のパラメータは,プロセス要件に応じて調整可能であり,承認の根拠として使用してはならない.具体的な技術計画と合意が優先される. | ||||||||
