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LED業界のICPエッチングプロセス用ウェーハホルダーとして使用される炭化ケイ素（SiC）トレイまたはプレート。
炭化ケイ素（SiC）は、優れた熱伝導性、耐食性、低い熱膨張性を備えています。炭化ケイ素は、シールリングやベアリングに最適な材料です。炭化ケイ素トレイは、優れた耐食性、優れた耐摩耗性、高温下での優れた機械的強度を備えています。当社は、さまざまなサイズの炭化ケイ素トレイおよびその他のSiC製品を供給しています。
| 化合物組成 | SiC |
| 分子量 | 40.1 |
| 外観 | 黒色 |
| 融点 | 2,730℃（4,946°F）（分解） |
| 密度 | 3.0～3.2 g/cm3 |
| 電気抵抗率 | 1～4 10x Ω-m |
| ポアソン比 | 0.15～0.21 |
| 比熱 | 670～1180 J/kg-K |
| タイプ | 再結晶SiC | 焼結SiC | 反応焼結SiC |
| 炭化ケイ素の純度 | 99.5% | 98% | >88% |
| 最高使用温度（℃） | 1650 | 1550 | 1300 |
| かさ密度（g/cm3） | 2.7 | 3.1 | >3 |
| 外観気孔率 | <15% | 2.5 | 0.1 |
| 曲げ強度（MPa） | 110 | 400 | 380 |
| 圧縮強度（MPa） | >300 | 2200 | 2100 |
| 熱膨張（10^-6/℃） | 4.6（1200℃） | 4.0（<500℃） | 4.4（<500℃） |
| 熱伝導率（W/m.K） | 35～36 | 110 | 65 |
| 主な特性 | 高温。高抵抗。 高純度 |
破壊靭性 | 耐薬品性 |
