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輸出経験豊富なプレミックスガスExciStar 200レーザーガス
製品名：レーザー混合ガス
別名：アルゴンフッ化物レーザーガス（193nm）
モデル:ExciStar 200
エキシマレーザーガス担当マネージャー：Suyee Su
what app:008618602768623
製品タイプ：ArF、F2/Ar/He/Ne
UN NO.：UN1956
シリンダー容量：16L、20L
バルブタイプ：CGA679、DIN 8、DIN 14
製品データの一部は以下の通りです:
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仕様 |
認定 濃度 |
単位
|
分析方法 |
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エキシマレーザー ガス |
規格 |
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窒素（N2） |
≤ 4.0 |
2.6 |
ppmv |
GC/PDID |
|
酸素（O2） |
≤ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
|
一酸化炭素（CO） |
≤ 1.0 |
0.2 |
ppmv
|
GC/PDID |
|
二酸化炭素（CO2） |
≤ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
|
その他のハロカーボン（THC） |
≤ 1.0 |
≤ 1.0 |
ppmv
|
GC/PDID |
