Add to Cart
TUIMIX CTXX ArF V3.0 エキシマレーザー彫刻機用混合ガス
製品名：レーザー混合ガス
別名：アルゴンフッ化物レーザーガス（193nm）
モデル:TUI-CTXX-ARF V 3.0
製品担当者：Suyee Su
whatapp:008618602768623
製品タイプ：ArF、F2/Ar/He/Ne
UN NO.：UN1956
シリンダー容量：16L、20L
バルブタイプ：CGA679、DIN 8、DIN 14
製品データの詳細は以下の通りです:
|
仕様 |
認定 濃度 |
単位
|
分析方法 |
|
|
エキシマレーザーガス |
規格 |
|
|
|
|
窒素（N2） |
≦ 4.0 |
2.6 |
ppmv |
GC/PDID |
|
酸素（O2） |
≦ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
|
一酸化炭素（CO） |
≦ 1.0 |
0.2 |
ppmv
|
GC/PDID |
|
二酸化炭素（CO2） |
≦ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
|
その他のハロカーボン（THC） |
≦ 1.0 |
≦ 1.0 |
ppmv
|
GC/PDID |
