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SOI高温圧力センサー
高温圧力センサーは一種のSOIの半導体の資材に基づいて高温MEMSセンサーです。その実用温度は-30~180です。
HPTシリーズ センサーは車およびずっと容器のディーゼル機関の自制のテストの部品のディーゼル スプレー圧力を測定するために広く利用されています。HPTセンサーはまだ環境の温度が180℃を超過するのに正常に作動できます。
HPTセンサーはケイ素に4 piezoresistorsを植え付けるイオンによって最初に作り出されます。4つの抵抗器はホイートストン・ブリッジの整理で他の2つが抵抗で減る間、2つの抵抗器が肯定的な圧力と増加するという、接続されます。圧力が装置に適用され、抵抗器橋の2つの港が動力源と供給される場合、他の2つの港は圧力に正比例している電気信号を出力します。圧力のequipartitionの技術は設計にの死にまもたらされ、装置を高い積み過ぎに対してより強くさせます。なお、抵抗器はセンサー装置の高いsteadinessを保証する絶縁媒体と隔離されます。