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トリクロロシラン (SiHCl3) は,3つの塩素原子と1つの水素原子に結合した1つのシリコン原子から構成される化学化合物である.室温では無色な液体で,主にシリコンベースの材料の製造に先駆物として使用されます.トリクロロシランに関する重要なポイントは以下の通りです
化学組成:トリクロロシランは,3つの塩素 (Cl) 原子と1つの水素 (H) 原子に結合した1つのシリコン (Si) 原子で構成される.その化学式はSiHCl3である.
特質: トリクロロシラン は 蒸発 点 が −23.8 度 (−10.8 度) で, 溶ける 点 が −122 度 (−187.6 度) で 揮発性 な 液体 です.鋭い匂いがあり,非常に反応的です.
製造:トリクロロシランは,主に,金属工学のグレードのシリコンと水素塩化物 (HCl) のガスとの反応によって生成される.
Si + 3HCl → SiHCl3 + H2
この反応は,銅のような触媒の存在下で,通常高温で起こります.
使い方:トリクロロシランは,特にシリコンベースの材料の生産において,様々な産業用用途があります.
シリコン生産:太陽電池,半導体,電子機器の製造に使用されるポリ結晶性シリコンの生産における重要な前駆物です.
化学合成:トリクロロシランは,シランとシリコンを含む様々なシリコン化合物の合成の出発材料または中間材料として使用されます.
半導体産業集積回路および他の半導体装置の製造中にシリコン二酸化物 (SiO2) またはシリコンナイトリド (Si3N4) の薄膜をシリコンウエファーに堆積するのに使用されます..
安全 考慮: トリクロロシラン は 燃やす 易度 が 高く,毒性 が 高い.皮膚 や 目 に 接触 する と ひどく 焼け 傷 を 引き起こす こと が あり ます.その 蒸気 を 吸い込み たら,呼吸 器 に 害 が ある こと が あり ます.適切な安全対策トリクロロシランを使用する際には,防護具の使用や適切な取り扱い手順など,注意する必要があります.
トリクロロシランを扱うとき,適切な換気を確保し,その反応性と毒性に関連する暴露と潜在的なリスクを防ぐために必要な安全対策をとることが重要です.
基本情報
| モデル番号: | SiHCl3 | 品質 | 電子グレード |
| 輸送パッケージ | Y・シリンダー,T・ドラム,TT・タンカー | 仕様 | 20L,40L,280L,カスタマイズ可能 |
| 商標 | CMC | 原産地 | 蘇州,中国 |
| HSコード | 2812190091 | 生産能力 | 500トン/月 |
仕様:
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