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TDLAS HF ガス分析器 測定精度 1%FS

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TDLAS HF ガス分析器 測定精度 1%FS

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モデル番号 :ESE-LASER-100
製品名 :HFガス分析機
ガスの温度の見本抽出 :≥180℃
決議 :1PPM
範囲 :10ppm/50ppm/200ppm/1000ppm
測定されたガス :NH3/HCL/HF
ガス調整システム :はい
タイプの見本抽出 :抽出タイプ
測定の正確さ :1%FS
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TDLAS HF 解析機 高温抽出型監視 HCL/HF/NH3 ガス調理システム付きガス分析機

 

TDLAS HF解析器は,チューナブルダイオードレーザー吸収スペクトロスコピー (TDLAS) 技術を用い,ガスサンプル内の水素フッ化物 (HF) の濃度を測定する装置である.


HFは毒性があり腐食性のあるガスで,半導体製造におけるエッチングや清掃などの様々な産業プロセスで一般的に使用されています.HF濃度を監視することは,職場の安全と環境規制の遵守を保証するために不可欠です.
TDLAS HF 解析器は,特定の波長で光を放つ調節可能な二極電極レーザーを使用し,HF 分子によって吸収されます.解析器は,HF ガスによる光の吸収を測定します.標本内のHF濃度を測定できる.


これらの分析機は,高い感度,速い応答時間,リアルタイム測定を行う能力など,いくつかの利点を提供しています.研究室HFレベルを正確に監視し,労働者と周囲の環境の安全を確保するための環境モニタリングアプリケーションです.

 

申請

 

SCR,焼却および燃焼プロセス

排出量監視:発電,エンジン開発,廃棄物焚焼炉,...

環境モニタリング:埋立地と温室効果ガス,家畜...

化学工学:生産制御と監視...

安全性:漏れ検出,冷却,有毒ガス, .

気候制御と監視:家畜,気候室と部屋

 

測定したガス HCL/HF/NH3
方法 調節可能ダイオードレーザースペクトロメトリ (TDLAS)
範囲 HCL/HF: 0-50ppm,0-100ppm,0-500ppm (カスタマイズされた)

 

NH3 20ppm以上

精度 統合安定性 (温度と圧力) に依存する全スケール表示の ± 1%
精度 1ppm
表示される解像度 0.1ppm
応答時間 15S未満 (3L/minのガス流量で)
採取ガス温度 ≥180°C
アナログ出力 4`20mA DC 絶縁出力 最大負荷は900オーム
デジタル出力 RS232/485
電源 90-240VAC / 50/60Hz 120W
温める時間 30分
インターフェース RS232
周囲の温度 温度:-10~50°C 湿度:0~90%RH
サイズ 760 (H) × 500 (L) × 255 (W) mm (分析キャビネット)

 

700 (H) × 450 (L) × 210 (W) mm (制御キャビネット)

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