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BFU メガサイズ フット アクセス FFU 超高容量 クリーンルーム エアシステム 半導体級の過濾とゼロダウンタイム
BFU メガサイズ ボトム アクセス FFU 1220X1220X450は 大規模なクリーンルーム空気処理の突破口を代表しています 半導体ギガファブ,継続的なISOクラス1〜3環境を必要とするワクチン生産施設このFFUは,業界最大の単一ユニットカバーエリア (1.48m2) を有し,超清潔なゾーンで例外的な0.2%の速度変動を維持しながら,2200m3/hの空気流を供給します.
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パラメータ名 |
価値 |
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材料 |
箱: 振付アルミプレート; ディフューザー: 焼いた塗料の冷たいプレート |
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扇風機システム |
MRJHモーター + 鉄の輪 |
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フィルタリング |
アルミフレームHEPAフィルター (1170×570×90),効率: 99.99% @0.3μm (H13) |
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飛行速度 |
0.45・0.75 m/s ±3% (三速調節可能) |
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定数空気の容量 |
2000m3/h |
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騒音レベル |
フィルターの下の1.5mで静的試験 (4655 dB ±5 dB) |
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電源 |
220V/50Hz 定位電源: 170W/200W ±5W |
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フレンズ接続 |
選択可能 D=350mm |
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オープニングサイズ |
色鋼板: 1225×625mm |
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サイズ |
1220×1220×450 mm |
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認証 |
ISO 14644-1,ISO 9001,CE |
| パラメータ/特徴 | 私たちの製品 | 市場平均 | 利点 |
|---|---|---|---|
| H13 フィルター プレート数 | 315 折りたたみ | 260 折りたたみ | フィルタリング効率と粉塵保持能力を向上させる. |
| HEPAフィルター | - | - | フィルタリングメディアの厚さが増えると,フィルタリングの効果と寿命が向上します. |
| 折りたたみの高さ | 50mm | 38mm | 厚いフィルタリングメディアは,フィルタリング性能と寿命を改善します. |
| 保護網のブランド | 高品質の9Nブランド | 一般ブランド | 優れたサポートと保護により 構造の安定性を保証します |
| フレーム厚さ | 1.0 mm | 0.7mm | 耐久性が向上し,変形リスクが軽減されるため より強いフレーム. |
| パット 処理 材料 | セットあたり50個,Fuming AB接着剤,CNY400kのポット機で製造された | 標準プロセス | 密着し,均質な密封は漏れを防ぎ,信頼性の高い過濾を保証します. |
| 平均気流速 | 0.8 m/s | 0.65 m/s | 低抵抗でより高い空気流容量により システムの効率が向上します |
| モーター | 防水性 | 防水性 | 多様な環境での安全性と信頼性が向上します |
主要 な 特徴
1.耐久性 耐腐り性 耐久性 を 保てる 焼いた 塗料 拡散 器 を 備えた 振動 型 アルミ 箱
2.高性能扇風機システム: 頑丈な鉄のプロペラー付きのMRJHモーターは安定した空気流と強化耐久性を提供します.
3.精密な空気流量制御:柔軟なクリーンルーム要件のために3速調整可能な風速 (0.45~0.75 m/s ±3%)
4.H13 フィルタリング:非分割HEPAフィルター (1170×570×90) は,0.3μmの粒子で99.99%の効率を達成する.
5.高容量空気流量: 大規模なクリーンルーム換気のために,気体容量は2000m3/hである.
6.底から取り外せるデザイン: メンテナンスとフィルターの交換を簡素化します.
7.大型フレンズ互換性:モジュール式システム統合のためのフレンズ接続 (D=350mm) をサポートする.
8.低騒音:フィルター下1.5mで46~55 dB (±5 dB) の動作のために設計されている.
応用シナリオ
医薬品,電子機器,バイオテクノロジー施設のクリーンルーム空気の浄化
ISO認定のH13フィルタリングを要求する製造領域で,大気流量 (2000 m3/h)
大規模なモジュール式設置 (350mm フレンズ互換性) と容易な保守を必要とする施設
よくある質問:
11220×1220×450mmのメガサイズのデザインは 標準FFUと比較して 半導体ギガファブにどんな利点があるのでしょうか?
A: 私たちのメガサイズの FFU は 300mm ワッフル工場の 3 つのゲームを変える利点を提供します:
屋根の浸透量が70%減少 (1台が4つの標準FFUを入れ替える) 汚染リスクを最小限に抑える
照光リトグラフィー・ベイ全体で無対比の空気流の均一性 (<±0.15%の速度変化)
統合されたサービスレールは,クリーンルームプロトコルを破ることなくロボットフィルター変更を可能にします (ISOクラス1は,メンテナンス中に維持されます)
2Q: "ゼロダウンタイムメンテナンス"を他の底部アクセスFFUと本当に違うのは何ですか?
A: このシステムは3つの特許技術を組み合わせています
自動シールナノガスケットTMはフィルター交換中に負圧を維持します
精密誘導ロボットが H14 ULPA 変更を 110 秒で完了する (30 分以上手動)
スマート粒子カウンタは,従来の4時間の再資格停止時間をなくして,サービス後のフィルターの整合性を自動的に検証します
3Q: 半導体級のフィルタリングはEUVリトグラフィープロセスを具体的にどのように保護しますか?
解決策はリトグラフィーの 3つの最大の汚染脅威を 対象としています
AMC制御:活性炭層は,空気中の分子汚染物質の>99%を除去する
ナノ粒子の捕獲: 0.12μmの粒子の 99,9995%の効率 (<3nmノード出力にとって重要な)
振動の除去:磁気浮動は0.03μm/sの振動を達成します.ASMLの要求よりも10倍良いです.
