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ファンのフィルター ユニットの記述:
ファンのフィルター ユニットは自身の力およびろ過機能のモジュラー末端の空輸補給装置である。第一次および高性能の二段式フィルターによって装備されていて、ファンの上は第一次および高性能フィルターによってろ過し、クリーン エアーは毎秒0.45メートルの風速で均等に送り出される。
FFUは薄層の空気をろ過し、クリーン エアーを供給するために使用されるタイプの単位である。
FFUは独立またはモジュール方式で取付けられていて。
FFUはきれいなブース、清浄作業台およびクリーン ルームを含む異なったクラスのクリーンルーム プロダクトを、作るための炉心構成要素である
FFUはまたは独自に取付けられ、使用することができる層流のフィルター ユニットでありモジュール性を取る
ファンのフィルター ユニットの特徴:
| モデル | キャビネット サイズ（W×D×H） mm | 気流（m3/h） | ファン圧力 | 騒音レベル（dB） | 空気速度 | HEPAフィルター サイズ | 効率 |
| YN-FFU-575 | 575×575×230 | 500 | 210pa | 54 | 0.3~0.5m/s | 570×570×69 | 99.995%@0.3µm |
| YN-FFU-1175 | 575×1175×230 | 1000 | 210pa | 54 | 0.3~0.5m/s | 570×1170×69 | 99.995%@0.3µm |
| YN-FFU-875 | 875×1175×230 | 1500 | 220pa | 56 | 0.3~0.5m/s | 870×1170×69 | 99.995%@0.3µm |
| YN-FFU-1175×2 | 1175×1175×230 | 2000年 | 230pa | 58 | 0.3~0.5m/s | 1170×1170×69 | 99.995%@0.3µm |
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