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ドラムコンベアライン
半導体製造用ウルトラクリーンローラーコンベアシステム
クラス1～100のクリーンルーム環境向けに設計された、当社のコンタミネーションフリーローラーコンベアは、半導体製造全体を通して、パーティクルフリーのウェーハとチップのハンドリングを保証します。この高精度システムは、フロントエンドおよびバックエンドプロセスにおいて、SEMI F72およびISO 14644-1規格に適合しています。
重要な性能特性:
<0.1μmの粒子放出 - フォトリソグラフィおよびエッチングエリア向けに認証済み
セラミックコーティングローラー - 非金属、非ガス発生表面
層流エアフロー統合 - クリーンゾーンの完全性を維持
振動制御 - <0.05μmの振幅でナノスケールのアライメントを実現
生産上の利点:
99.99%の汚染リスクを排除
高感度プロセスで30%高い歩留まり
ファブツールの統合のためのモジュール設計
300mmウェーハファブ、MEMS製造、および高度なパッケージングに最適です。オプションで、AMCろ過およびRFID追跡が利用可能です。
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製品パラメータ
| フレーム材質 | アルミニウム/鉄/リーンパイプ | カスタマイズを受け入れます |
| ベルト幅 | 一般：200-1000MM | カスタマイズを受け入れます |
| 作業台の高さ | 一般：500-1200MM | カスタマイズを受け入れます |
| 搬送速度 | 一般：0-12M/MIN | |
| アクセサリーブランド | 有名な中国ブランド | カスタマイズを受け入れます |
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