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Rapid Thermal Processingは,垂直半自動8インチワッフル・ラップ・アニール・オーブンであり,赤外線ハロゲンランプの2層を暖房源として使用する.内部クォーツ空洞は,隔離され隔離されています液体冷却アルミ合金で作られ,製品の均一な加熱と低い表面温度を保証します.
急速熱処理はPID制御を採用し,システムは赤外線ハロゲンランプの出力量を迅速に調整し,温度制御をより正確にします.
二重層赤外線ハロゲンランプのチューブ加熱,素早い窒素冷却;
温度均一性を向上させるために,ランプチューブの独立して開発されたグループ化配置.
PID アルゴリズム制御を用いて,ランプの出力量をリアルタイムで調整する.
ユーザアカウントは,便利な情報管理のために 3 つの権限レベルに分けられています.
ソフトウェアの主なインターフェースは,ガス,温度,真空度など,リアルタイムパラメータを表示できます.
システムでは各プロセスに関する情報を自動的に保存します.
誤差メッセージを自動的に認識し,異常が発生した場合にデバイスを自動的に保護します.
過熱検知: 水冷アルミ合金の温度が室外殻の温度が70°Cを超えている.
熱電偶検出: システムプロセス中に,熱電偶モニタリング値は設定値と一致しない.
熱感知:加熱中の異常出力.
炉のドアロック検知:各プロセス前にドアロックがロックされているかどうかを確認する.
ガス検知:ガスの圧力が設定範囲を超えたり,ガスの圧力が高すぎたり,低すぎたり.
水流検知: 入口流量値はデフォルト値より低い.
漏れ検知:漏れ検知
緊急停止スイッチ: 処理を即座に停止し,熱源を切断する.
イオンインプランテーションアニール
ITOコーティング後の急速なアニール
オキシド
ニトリド増殖
シリシド合金 の 焼却
ガリウムアルセニード処理
オム接触の高速合金
オキシダティブ リフルックス
他の半導体高速熱処理プロセス
| RTP-SA-8 | |
| 最大製品サイズ | 8インチ以下のウエフラー |
| 装置の寸法 | 970mm × 1450mm × 2024mm (幅 × 深さ × 高さ) |
|
暖房温度範囲 |
室温~~800 °C (熱対) 800 °C~1250 °C (赤外線ピロメーター) |
|
熱量 |
150 °C/s の裸のウエフラー 20 °C/s シリコンカービッドのキャリア |
|
温度均一性
|
< 500 °C,均一性 ≤ ± 5 °C ≥ 500 °C,均一性 ≤ ± 1% |
| 温度制御の繰り返し性 | ±1°C |
| 恒常温度持続時間 | 要求に応じてプログラム可能 |
標準設定
| 番号 | 名前 | 仕様モデル | 性能/パラメータ説明 | 量 | ユニット |
| 1 | 迅速な熱処理 | RTP-SA-8 |
外部寸法:970*1450*2024 (幅 × 深さ × 高さ) |
1 | セット |
| (1) について | オーブンの体 | LT-08 | 水で冷却された金付アルミニウム合金室 | 1 | セット |
| (2) について | バキューム室 | SQ-08 | 高純度クォーツ空洞 | 1 | セット |
| (3) について | ハロゲンチューブ | D8-20 | 2 kW/パーツ | 33 | パーツ |
| (4) について | クォーツの支架 | SJ-08 | 高純度クォーツ (8 ") | 1 | セット |
| (5) | グラフィットリング | --- | グラフィット | 1 | セット |
| (6) | 温度測定用熱対 | K-08G | K型 ±1.5°Cまたは ±0.4%t | 2 | セット |
| (7) | 産業用コンピュータ | IPC-510 | dvantech産業制御,第10世代 i5 1セット | 1 | セット |
| (8) | ディスプレイ画面 | / | 21.5インチディスプレイ | 1 | パーツ |
| (9) | MFC |
MC-1601L (((10L) MC-1602L ((100L) |
ウォーリック GN2/PN2/O2/N2 合計 5 つのガスパイプラインに対して 1 つのガスパイプラインを予約する |
5 | セット |
| 10 | チラー | KBE-5A | 冷却電源: 14.8KW | 1 | パーツ |
| 11 | バキュームポンプ | SP600 | ポンプ速度 522L/min | 1 | セット |
| 12 | 赤外線ピロメーター | / | / | 1 | セット |
2.3常用品
| 番号 | 名前 | 仕様モデル | ユニット | メンテナンス サイクル |
| 1 | グラフィットリング | RTP-SiC-8 | エイ (EA) | 破損した交換品 |
| 2 | クォーツ板 | RTP-QC-8 | エイ (EA) | 破損した交換品 |
| 3 | クォーツの支架 | RTP-QS-8 | エイ (EA) | 破損した交換品 |
| 4 | クォーツチューブ | RTP-QT-8 | エイ (EA) | 破損した交換品 |
| 5 | ランプチューブ | RTP-HT-8 | エイ (EA) | 2000時間 |
| 6 | Oリング | RTP-OR-8 | エイ (EA) | 1年 |
| 7 | K型熱対 | KT-800 | エイ (EA) | 3ヶ月 |
| 8 | バキュームポンプのメンテナンス | / | エイ (EA) | 1年 |
| 9 | MFC 検証 | / | エイ (EA) | 1年 |
