2 インチ厚膜 (1,2)μm AIN オンサファイアウエハー φ50.8 mm±0.1 mm、OF(1-100)、Al 面、位置決めエッジ 16.0± 1.0 mm サファイアウェーハ SSP XRD FWHM の 2 インチ厚膜 (1,2)μm AIN (002)≤80arcsec(102) ...

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