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DAD3350 ウェーハダイシングマシン 自動ダイシングソー X軸 切断範囲 260mm
幅広いアプリケーションに対応
DAD3350は、最大Φ8インチまたは250×250mm（お客様指定仕様）のワークに対応。1.8kW主軸を標準装備。2.2kWの高トルクスピンドル（オプション）を選択することで、シリコンからセラミックなどの難加工材まで加工が可能です。ユーザー指定仕様でΦ5インチまでのブレードに対応可能。また、オプションで多面取りワークのアライメント機能も追加可能です。
スループットの向上
DAD3350は各軸の高速化によりスループットの向上を実現。
使いやすさ
LCDタッチスクリーンやグラフィカルユーザーインターフェース（GUI）の搭載で操作性が向上。加工状況や各種ステータスをアイコンボタンで視覚的に表示し、簡単操作を実現。また、300/500シリーズ（既存機種）からの置き換えを容易にするため、操作の共通化に配慮しました。
プロセス品質
剛性の高いブリッジ型フレームの採用と、熱収縮や振動を防止する主軸前部支持構造の採用により、より安定した加工点が得られます。
プロセス管理
オートアライメント、オートフォーカス、オートカーフチェックなどの画像認識機能を搭載し、設備の生産性を向上。また、エアブロー機構やコンタミ防止用のレンズシャッターを搭載しています。オプションとして、低倍率の顕微鏡を追加してラフな位置合わせを行うことができます。状態監視により、加工状態や各種状態を随時把握できます。切断水の流れを制御するオンスクリーン切断水管理システムなど、高度なプロセス制御機能をオプションとして追加できます。
仕様
|
仕様 |
ユニット |
1.8kW |
2.2kW |
|
|---|---|---|---|---|
|
最大。ワークサイズ |
- |
Φ8インチ（250mm×250mm、Φ300mmユーザー指定仕様） |
||
|
X軸 |
切削範囲 |
んん |
260 |
|
|
切削速度 |
mm/秒 |
0.1 ～ 600 |
||
|
Y軸 |
切削範囲 |
んん |
260 |
|
|
インデックスステップ |
んん |
0.0001 |
||
|
インデックスの位置決め精度 |
んん |
0.002/260 |
||
|
Z軸 |
最大。脳卒中 |
んん |
32.2 |
31.4 |
|
移動解像度 |
んん |
0.00005 |
||
|
繰り返し精度 |
んん |
0.001 |
||
|
θ軸 |
最大。回転角度 |
度 |
380 |
|
|
スピンドル |
定格トルク |
N・m |
0.29 |
0.70 |
|
回転数範囲 |
min-1 |
6,000 ～ 60,000 |
3,000 ～ 30,000 |
|
|
機械寸法（W×D×H） |
んん |
900×1,050×1,800 |
||
|
機械重量 |
kg |
約。1,200 |
||
* 製品の外観、機能、仕様、およびその他の詳細は、技術的な変更により変更される場合があります。
※ご使用前に標準仕様書をよくお読みください。
