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2KW 3.5KW 超純粋 PFA インライン化学ヒーターは、半導体、太陽光発電、MEMS製造、および高純度流体を使用するその他の産業における高純度プロセスで使用される、脱イオン水、酸、およびそれほど攻撃性のないプロセス化学物質の加熱に最適です。
これらのヒーターは、再循環およびポイントオブユースの流体加熱用途向けに設計されています。
設置面積が小さいため、既存のシステムに簡単に統合できます。
3~18 kW およびさまざまな電圧で利用可能
PVDF/PFA 湿潤面を備えた超純粋設計
低ワット密度による高速応答
窒素パージが不要になり、運用コストを削減
10~30インチの高さ、4~6インチの直径のコンパクト設計
多くのオプション、安全機能、電圧、および電力出力による柔軟な設計
超純水ヒーター | 値 |
電圧 | 110~415V 1p/3P |
電力 | 6~18KW |
最大圧力 | 0.4MPa |
最小圧力 | 0.1MPa |
最大流量 | 30L/分 |
最高使用温度 | 120℃ |
半導体ウェットプロセス
滅菌/洗浄
太陽光発電/太陽電池ウェーハ洗浄
業界
超高純度加熱用製品 |
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インラインヒーター |
PFA インラインヒーター
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インライン化学ヒーター |
可燃性溶剤加熱用
次世代半導体ノード技術をサポートするために、IPAおよび低引火点溶剤を安全に加熱するように設計された製品で、最も厳しい清浄度要件を満たしています。
製品可燃性溶剤加熱用 |
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PFA インライン化学ヒーター![]() |
PTFE インライン化学ヒーター
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インライン化学ヒーター
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インライン化学ヒーターは、タンク全体の液体を加熱するのではなく、パイプまたはチューブ内を流れる流体を加熱するデバイスです。これらのヒーターは、使用時点で流体を迅速に加熱するように設計されており、より速い加熱、熱損失の低減、および効率の向上などの利点を提供します。半導体製造、化学処理、流体処理などのプロセスにおいて、化学物質、溶剤、その他の流体を加熱するために、産業環境で一般的に使用されています。
インライン化学ヒーターの主な特徴と利点:
高速加熱:
インラインヒーターは、連続的な流体の流れを迅速に加熱できるため、加熱された流体を使用する前に、タンク全体が目的の温度に達するのを待つ必要がありません。
ポイントオブユース加熱:
流体は必要な場所で直接加熱されるため、熱損失とエネルギー消費を最小限に抑えることができます。
効率的なエネルギー使用:
流れる流体に熱を集中させることで、大量の液体を加熱する場合と比較してエネルギーの無駄を削減できます。
多様な用途:
インラインヒーターは、さまざまな化学物質、溶剤、および温度に対応するために、さまざまな設計と材料で利用できます。
材料の互換性:
多くのインラインヒーターは、腐食や化学反応に耐えるために、ステンレス鋼、フッ素ポリマー(PFA/PTFE)、石英、チタンなどの材料で作られています。
安全機能:
一部のインラインヒーターは、さまざまな条件下での安全な操作のために、化学物質の浸透を除去するためのガスパージ、温度センサー、および自己制限技術などの機能を組み込んでいます。
カスタマイズ:
シングルパスまたは再循環用途、さまざまな電力出力、およびさまざまな流体接続のオプションにより、特定のプロセスニーズに合わせてカスタマイズできます。
低ワット数オプション:
一部のインラインヒーターは低ワット数用に設計されており、デリケートな化学物質や、正確な温度制御を維持することが不可欠な用途に適しています。
インライン化学ヒーターの用途:
半導体製造:
ウェーハの洗浄、レジストの剥離、およびさまざまなプロセスステップのための化学物質の加熱。
化学処理:
化学反応、混合、およびその他のプロセスステップの加熱と温度維持。
溶剤処理:
洗浄、抽出、およびその他の用途での溶剤の加熱。
超高純度(UHP)用途:
超高純度材料用に設計されたインラインヒーターは、脱イオン水加熱、製薬製造、および先進材料科学などのプロセスに不可欠です。
インラインヒーターの部品
インラインヒーターは、さまざまな部品で構成されています:
発熱体とそのシースと断熱材。
加熱する流体をシステムに押し込むポンプユニット。
流体自体は、発熱体の周りのループを通過し、通過するたびに熱くなります。
加熱された流体が適切な熱に達すると、システムから押し出される出口ノズル。
液体が目的の温度に達したときに判断する熱電対センサー。
複雑さが異なる制御システム–一部はユニットのオンとオフを切り替えることができますが、設定温度があり、他のものはより柔軟で、ユーザーが温度を変更できます。
インラインヒーターに追加できるオプションコンポーネントがいくつかあります。これらには、耐湿性または爆発を封じ込めるのに十分な強度を持つより強力なケースが含まれます。追加のフランジタイプと取り付け機器も利用できます。
梱包と発送
当社では、カートンボックス、木製ケースなど、製品の特性に応じてさまざまな梱包方法を採用しています。電気めっきプラント設備については、一緒に話し合い、最適なものを選択できます。
出荷に関しては、さまざまな方法にそれぞれ長所と短所があります:
海上輸送:最も安価で、大量に適していますが、時間がかかります
航空便:より速く、より便利で、高価です
速達便:より柔軟で、ドアツードアで、高価です
関連種
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金属浸漬ヒーター | PTC 浸漬ヒーター | 石英浸漬ヒーター |
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金属熱交換器 | (PFA) 熱交換器 | 陽極バスケット |
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PP タンク | PP バレル | PP バッグフィルター |
当社の工場
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エンジニアオフィス | ツーリング部門 | 機械加工1 |
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機械加工2 | 機械加工3 | 機械加工4 |
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