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3つのセットのプロセス ガスが付いているRTP-150RLの急速な熱焼きなましシステム
RTP-150RL:
デスクトップの手動急速な焼きなましはにシステムの保護大気、赤外線可視ライトの熱する単一部分のウエファーまたはサンプルと、2-6インチのウエファーのための短いプロセス時間、適した高温制御精度ある。慣習的な拡散炉焼きなましシステム上のその独特なキャビティ設計、高度の温度調整の技術および独特なRL900ソフトウェア制御システムは他のRTPシステムと比較される優秀な熱均等性を保障する。
製品特性:
1. 空冷を使用して冷却する赤外線ハロゲン ランプの管の暖房。
2. 管力PIDの温度調整は、正確によい再現性および温度の均等性を保障するために温度の暖房を制御できる。
3. 平行空気取り入れ口方法は採用され、冷たいポイントを焼きなましプロセスの間に避け、プロダクトのよい温度の均等性を保障するためにガスの入口はウエファーの表面で置かれる。
4. 空気および真空の治療法は取入口の空気ガスの浄化の処置の前に、選ぶことができる。
5. 3組のプロセス ガスとの標準。
6. 測定可能な単一のウエファーのサンプルの最高のサイズは6インチ（150mm）である。
7. 炉の安全温度の開始保護、温度調節器の入り口の権限の保護および装置の非常停止の安全保護の三重の安全処置は器械の安全を保障するために採用される。
