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IC LSI 電極 半導体検出器システム マグネトロン スパッタリング 成膜

IC LSI 電極 半導体検出器システム マグネトロン スパッタリング 成膜
  • IC LSI 電極 半導体検出器システム マグネトロン スパッタリング 成膜
製品の詳細
半導体産業におけるマグネトロン スパッタリング成膜 アプリケーション アプリケーション 特定の目的 材料の種類 半導体 IC、LSIの電極、配線フィルム AI、Al-Si、Al-Si-Cu、Cu、Au、Pt、Pd、Ag VLSIメモリ電極 Mo、W、Ti 拡散バリアフィルム MoSix、Wsix...
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