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管の実験室のEelctricの炉の特徴:
高いフィルムの溶着速度:フィルムの溶着速度を非常に高めるRFの白熱技術は、溶着速度10Å/Sに達することができる
高い区域の均等性:高度の分岐RFの供給の技術、特別なガス道の配分および暖房技術、等は、フィルムの均等性の索引の範囲8%を作る
高い一貫性:半導体工業の高度の設計思想を使用して、1沈殿の基質間の偏差は2%よりより少しである
高いプロセス安定性:非常に安定した装置は連続的な、安定したプロセスを保障する
極度のCVDの管の実験室の電気炉の主要な技術的な変数:
製品名およびモデル | SP-1200T-84実験室の電気炉 |
熱する管のサイズ(OD×L) | Dia80x400mm |
部屋の絶縁材 | 陶磁器軽量の酸化アルミニウム繊維 |
最高温度 | 1200°C作業時間( < 3="" hours=""> |
働く温度 | 400-1100°C (長い時間の間、調節可能な) |
温度調整 | プログラム可能な、PIDの自動制御理性的な30の区分 |
暖房率 | 1-15℃/min (調節可能な) |
温度の正確さ | ±1℃ |
熱電対 | Kのタイプ |
発熱体 | 抵抗ワイヤー |
最終的な真空 | -0.1Mpa |
真空ポンプの指定は模倣する | 0.5Aのポンプ率0.5L/Sの力120W |
炉の貝 | ファンの冷却を用いる二重貝 |
温度の表示モード | 四桁の液晶表示装置 |
働く力 | AC 1段階、110V-240V、50Hz/60Hz |
予備機能 | 設置済みコンピュータ通信モジュールおよびRS485通信用インタフェース、リモート・コントロールを実現するため。 |
SP-1200T CVDの環状炉標準モデル
モデル | 熱する地帯(OD×L mm) | 仕事力 | 真空ポンプの指定 |
SP-1200T-53 | Φ50x300 mm (2.0" x12」) |
AC 1 phase/3段階 110V-400V 50Hz/60Hz. |
TW-0.5A;0.5L/S;120W;110V/220V |
SP-1200T-54 | Φ50x400 mm (2.0" x16」) | TW-0.5A;0.5L/S;120W;110V/220V | |
SP-1200T-55 | Φ50x500 mm (2.0" x20」) | TW-0.5A;0.5L/S;120W;110V/220V | |
SP-1200T-63 | Φ60x300 mm (2.5" x12」) | TW-0.5A;0.5L/S;120W;110V/220V | |
SP-1200T-64 | Φ60x400 mm (2.5" x16」) | TW-0.5A;0.5L/S;120W;110V/220V | |
SP-1200T-65 | Φ60x500 mm (2.0" x20」) | TW-0.5A;0.5L/S;120W;110V/220V | |
SP-1200T-83 | Φ80x300 mm (3.2" x12」) | TW-0.5A;0.5L/S;120W;110V/220V | |
SP-1200T-84 | Φ80x400 mm (3.2" x16」) | TW-0.5A;0.5L/S;120W;110V/220V | |
SP-1200T-104 | Φ100x400 mm (4.0" x16」) | TW-0.5A;0.5L/S;120W;110V/220V | |
SP-1200T-154 | Φ150x400 mm (6.0" x16」) | TW-1A;1L/S;120W;110V/220V |
受渡し時間:
ある正常な標準サイズの炉および部品のための♥、私達は在庫で持っている;従って私達は2-3日に送り出してもいい;
♥は別のプロダクト要求に従って他のカスタマイズされたサイズ受渡し時間15日から20日からである。
私達の保証:
ユーザーが傷つける発熱体および陶磁器の管を除いて寿命サポートが付いている1つの年の限定保証。
注意:作動し、使用するために腐食性および酸性ガスの使用によって与えられるどの損害でもおよび悪事からの損傷は1つの年の限定保証の適用範囲の下にない。