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SAWフィルター用Crystro リチウムタンタルト LiTaO3単結晶
リチウムタンタラートウエファーは,化学的および機械的安定性だけでなく,高い光学損傷しきい値を持っています.これらの特性により,LiTaO3ウエファは SAW (表面音響波) 装置や光学用途に有用である..
Crystro は以下のように提供します.
リタオ3の基本特性:
| 結晶構造 | トリゴナル |
| 格子定数 | a=5.154Å,c=13.783Å |
| 密度 | 7.45g/cm3 |
| 溶融点 | 1650°C |
| キュリーポイント | 603±2°C |
| モース硬さ | 5.5~6モース |
| ダイレクトリ常数 | es11/eo:39~43, es33/eo:42~43"et11/eo:51~54, et33/eo:43~46 |
| 熱伝導性 | 1015wm |
| 熱膨張係数 | この例では,a1=a2=1.61×10-6/°C, a3=4.1×10-6/°C |
| 屈折率 | n0=2.176 ne=2.180 @ 633mn |
| E-O係数 | R33=30 となる.4 |
| 電気機械的な結合因数 | R15≥0.3 |
| 熱電力係数 | 2.3×10-7 C/cm2/K |
| トランスミッション範囲 | 400~5000nm |
典型的な仕様:
| サイズ | アコースティック・オプティカル・グレード |
| ドーピング | フェ,ドーピングなし,またはフェ |
| ボウルの長さ | ≥50mm |
| ウェファーの厚さ | 0.25,0.35,0.50 ((ミリ) |
| オリエンテーション | Y42°/Y36°/X/Y/Z または 要求に応じて |
| 表面処理 | 単面/双面の磨き |
| TTV | < 10μm |
| ボウ | BOW ± (25μm~40um) |
| ワープ | ≤35μm |
| 平らな幅 | 32.0±20(mm) または 要求に応じて |
| 荒さ | Ra≤10Å |
| シャンフェ | ≤0.1mm@45° |
