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12 年
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◆容易な小型化され、取り外し可能な設計、運ぶこと非常におよび教室の教授
◆検出の頭部およびサンプル スキャンの段階は統合される、構造は非常に安定して、anti-interference強い
◆単一軸線ドライブ サンプルは自動的に針先がサンプル スキャンに垂直であるように、調査に縦に近づく
◆モーター制御の加圧圧電気の陶磁器の自動検出の理性的な針供給方法は調査およびサンプルを保護する
◆調査の針の挿入の州の側面CCDの観察システム、実時間観察および調査のサンプル スキャン区域の位置
◆ばねの懸濁液耐震性方法、簡単でおよび実用的で、よい耐震性の効果
◆統合された走査器の非線形訂正のユーザーの編集者、ナノメーターの性格描写および測定の正確さよくより98%の
| A61.4510 | |
| 仕事モード | 一定した高さモード 一定した現在のモード |
| 現在のスペクトルのカーブ | IVカーブ 現在間隔のカーブ |
| X-Yスキャン範囲 | 5×5um |
| X-Yスキャン決断 | 0.05nm |
| Zスキャン範囲 | 1um |
| Yスキャン決断 | 0.01nm |
| スキャン速度 | 0.1Hz~62Hz |
| スキャン角度 | 0~360° |
| サンプルの大きさ | Φ≤68mm H≤20mm |
| X-Y段階移動 | 15×15mm |
| Shock-Absorbing設計 | ばねの懸濁液 |
| 光学Syestem | 1~500x連続的なズームレンズ |
| 出力 | USB2.0/3.0 |
| ソフトウェア | 勝利XP/7/8/10 |
| 顕微鏡 | 光学顕微鏡 | 電子顕微鏡 | スキャンの調査の顕微鏡 |
| 最高の決断（um） | 0.18 | 0.00011 | 0.00008 |
| 注目 | オイルの液浸1500x | イメージ投射 ダイヤモンドの炭素原子 | イメージ投射高位黒鉛の炭素原子 |
|
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| 調査サンプル相互作用 | 測定信号 | 情報 |
| 力 | 静電気力 | 形 |
| トンネルの流れ | 現在 | 形、伝導性 |
| 磁力 | 段階 | 磁気構造 |
| 静電気力 | 段階 | 充満配分 |
| 決断 | 作動状態 | 働くTemperation | 見本抽出するべきDamge | 点検深さ | |
| SPM | 原子のレベル0.1nm | 、正常の真空液体 | 部屋か低いTemperation | どれも | 1~2個の原子のレベル |
| TEM | ポイント0.3~0.5nm 格子0.1~0.2nm |
高真空 | 部屋Temperation | 小さい | 通常 <100nm> |
| SEM | 6-10nm | 高真空 | 部屋Temperation | 小さい | 10mm @10x 1um @10000x |
| FIM | 原子のレベル0.1nm | 極度の高真空 | 30~80K | Damge | 原子の厚さ |