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4.5 - 6nm高い拡大の走査型電子顕微鏡の表面の地形Eco SEM
スキャンの電子顕微鏡検査（sem）は金属、製陶術、半導体、鉱物、生物学、ポリマー、合成物およびナノ スケールの1次元の、二次元および三次元材料（二次電子のイメージ、backscattered電子イメージ）の表面の地形の観察のために適している。それがmicroregionのポイント、ラインおよび表面の部品を分析するのに使用することができる。それは公安の石油、地質学、ミネラル分野、電子工学、半導体分野、薬、生物学分野、化学工業、ポリマー材料分野、犯罪調査、農業、林業および他の分野で広く利用されている。
| A63.7062 EcoのタングステンのフィラメントSEM | ||
| 決断 | 4.5nm@30KV （SE）;6nm@30KV （BSE） | |
| 拡大 | 否定的な拡大:15x~250000x;スクリーンの拡大:30x~500000x | |
| 電子銃 | タングステンの熱くする陰極前はタングステンのフィラメントCarteidgeを集中させた | |
| 加速の電圧 | 0~30KV | |
| レンズ系 | 三準位電磁石レンズ（先を細くされたレンズ） | |
| 客観的な開き | 真空システムの外で調節可能なモリブデンの開き | |
| 標本の段階 | 5本の斧の段階 | |
| 旅行範囲 | X （自動車） | 0~50mm |
| Y （自動車） | 0~50mm | |
| Z （マニュアル） | 0~25mm | |
| R （マニュアル） | 360º | |
| T （マニュアル） | -5º~90º | |
| 最高の標本の直径 | 150mm | |
| 探知器 | 高真空の二次電子の探知器（探知器の保護と） | |
| 修正 | 段階の改善;EBL;STM;AFM;熱する段階;Cryoの段階;抗張段階;マイクロ ナノのマニピュレーター;SEM+Coating機械;SEM+Laser | |
| 付属品 | CCDの実験室6のX線の探知器（EDS）、EBSDのCL、WDSのコータ | |
| 真空システム | ターボ分子ポンプ;回転ポンプ | |
| 電子ビームの流れ | 10pAt~0.1μA | |
| PC | カスタマイズされたDellのワーク・ステーション | |
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