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13 年
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--ガラス処理の部屋:∮100mm;高い130mm。
--標本の段階のサイズ:∮40mm （把握6標本のコップ）
--金ターゲット サイズ:
∮58mm*0.12mm （厚さ）
--真空の検出:Piraniのゲージ
--真空の保護:マイクロスケールのインフレーション弁との20 pa
--中型のガス:アルゴンのガスの特別な空気入口が付いているアルゴンかマイクロスケールで調整する空気およびガス。
| A50.7011イオンはコーターを放出させます | |
| 真空槽 | Dia 100mm*H130mm |
| 標本の段階 | Dia 40mm （把握6標本のコップ） |
| 金の放出させるターゲット | Dia 58mm*0.12mm （厚さ） |
| 真空ゲージ | Piraniのゲージ |
| 真空ポンプ | 回転ベーンPums:2L/s |
| 真空の保護ポイント | マイクロスケールのインフレーション弁との20Pa |
| 働くガス | アルゴンのガスの特別な空気入口が付いているアルゴンかマイクロスケールで調整する空気およびガス |
| 放出させる電圧 | 1.6KV |
| 総重量 | 48kg |
| 承諾 | セリウム |
