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スキャンの電子顕微鏡検査(sem)は金属、製陶術、半導体、鉱物、生物学、ポリマー、合成物およびナノ スケールの1次元の、二次元および三次元材料（二次電子のイメージ、backscattered電子イメージ）の表面の地形の観察のために適しています。それがmicroregionのポイント、ラインおよび表面の部品を分析するのに使用することができます。それは公安の石油、地質学、ミネラル分野、電子工学、半導体分野、薬、生物学分野、化学工業、ポリマー物質的な分野、犯罪調査、農業、林業および他の分野で広く利用されています。
| A63.7062 EcoのタングステンのフィラメントSEM | ||
| 決断 | 4.5nm@30KV （SE）;6nm@30KV （BSE） | |
| 拡大 | 否定的な拡大:15x~250000x;スクリーンの拡大:30x~500000x | |
| 電子銃 | タングステンによって熱される陰極前によって集中させるタングステンのフィラメントのカートリッジ | |
| 加速の電圧 | 0~30KV | |
| レンズ系 | 三準位電磁石レンズ（先を細くされたレンズ） | |
| 客観的な開き | モリブデンの開きの調節可能な外の真空システム | |
| 標本の段階 | 5本の斧の段階 | |
| 旅行範囲 | X （自動車） | 0~50mm |
| Y （自動） | 0~50mm | |
| Z （手動） | 0~25mm | |
| R （手動） | 360º | |
| T （手動） | -5º~90º | |
| 最高の標本の直径 | 150mm | |
| 探知器 | 高真空の二次電子の探知器（探知器の保護と） | |
| 修正 | 段階の改善;EBL;STM;AFM;暖房の段階;Cryoの段階;抗張段階;マイクロ ナノのマニピュレーター;SEM+Coating機械;SEM+Laser | |
| 付属品 | CCDの実験室6のX線の探知器（EDS）、EBSDのCL、WDSのコータ | |
| 真空システム | ターボ分子ポンプ;回転ポンプ | |
| 電子ビームの流れ | 10pAt~0.1μA | |
| PC | カスタマイズされたDellのワーク・ステーション | |
タングステンによって熱される陰極前によって集中させるタングステンのフィラメントのカートリッジ
このシリンダーの電磁石レンズ
隔離弁はサンプル部屋が開くとき上部の真空が影響を受けていないことを保障します
客観的な開き
サンプル部屋に置く観察された必要性であるサンプル
5本の斧の段階、X/Yは制御にモーターを備えました（小さい）
| 消耗品 | ||||
| 名前 | 指定 | 量 | 単位 | |
| 1 | 集中させたカートリッジ フィラメント | 5 | セット | |
| 2 | 標本のコップ | （φ13） | 10 | PC |
| 3 | 標本のコップ | （φ32） | 10 | PC |
| 4 | カーボン伝導性テープ（二重側面） | 6mm | 1 | PC |
| 5 | 真空のグリース | 1 | びん | |
| 6 | リント・フリー布 | 20 | PC | |
| 7 | 出口管 | 5 | メートル | |
| 8 | 磨くのり | 1 | セット | |
| 用具 | ||||
| 名前 | 量 | 単位 | ||
| 1 | アレン・レンチ | 1 | セット | |
| 2 | 棒をきれいにして下さい | 1 | PC | |
| 3 | オーバーシュートされる | 1 | PC | |
| 4 | 用具を取除く開き | 1 | PC | |
| 5 | ピンセット | 1 | PC | |
| 6 | スクリュードライバー | 2 | PC | |
高真空の二次電子の探知器
任意付属の関係インターフェイス
同期A63.7062サポート3窓CCDの窓との2 Chanel （SE+BSE）;解像度:4096*4096ピクセル