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セラミックロボットアームは半導体機器の操作に役立っています半導体機器のロボットの手に相当し,指定された場所にウェーファーシリコンチップを運ぶ責任を負っていますワッファーシリコンチップは他の粒子に対して非常に脆弱であるため,一般的に真空環境で行われます.
この環境では,ほとんどの材料のロボットアームは通常,作業を完了するのは困難です.ロボットアームを作る材料には高温耐性,耐磨性,硬さが必要です.この時点で2種類の一般的なセラミックロボットアームがあります 1つはアルミニウムセラミックロボットアームですもう"つはシリコンカービッドセラミック ロボット腕.
アルミナセラミックスとシリコンカービッドセラミックスは密度の高い品質,高硬さ,高耐磨性,熱耐性などの物理特性があります.優れた機械強度半導体機器のロボットアームを作るのに優れた材料です.
しかし性能に関しては シリコンセラミック製のロボットアームは アルミナセラミック製のロボットアームよりも優れています
通常,シリコンカービッドセラミック製品がシンタリングされるのは,高純度および超細のシリコンカービッドマイクロフィリングで作られる.それは2450°Cの高温シンタリングで作られる.シリコンカルビッドの濃度は99以上.1%,製品密度が3.10g/cm以上である3.
