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クライオプローブステーション
PS-Cryoクローズドループ4 Kクライオプローブステーションは、GM冷凍メカニズムを使用しており、消耗品の液体ヘリウムを必要とせず、4 Kまでの低温環境を提供します。2インチのサンプルに対応し、標準的なI-V、C-V、マイクロ波、光電子試験のニーズを満たします。高度に統合され、システム化されたソフトウェア操作により、ワンクリックでの温度制御と電気試験が可能になり、低温電気試験に最も費用対効果の高い選択肢となっています。
| 機器性能指標 | 説明 |
|---|---|
| サンプル温度 | 4 K-420 K |
| 温度安定性 | <±20 mK (4 K-420 K) |
| 振動 | サンプルステージ振動<1 μm (ピークツーピーク) |
| 真空 | 低温真空<1.2E-3Pa |
| プローブアームストローク | X-Y-Z、50 mm-25 mm-25 mm |
| ニーディング範囲 | 直径25 mm以内の任意の点 |
| プローブアーム数 | 標準4プローブアーム、最大8サポート |
| 熱アンカー | プローブアームとサンプルステージの温度差<10 K |
| サンプルスペース | サンプルホルダー直径最大51 mm |
| サンプルホルダータイプ | グランド、同軸、三軸オプション |
| DCプローブ | ZN50、チップ材質タングステンまたはベリリウム銅 |
| 周波数範囲 | 0-50 MHz（低温同軸ケーブル使用）、0-1 GHz（セミリジッド同軸ケーブル使用） |
| マイクロ波プローブ | GSG、チップ材質タングステン |
| 周波数範囲 | 0-40 GHz（K型コネクタ使用）、0-67 GHz（1.85 mmコネクタ使用） |
| 電気リーク電流 | <100 fA@1 V |
| 光学顕微鏡 | 0.75 X-3.75 X連続ズーム |
